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外形尺寸 2300MM*800M*1200MM(长*宽*高)
电源 380V/50HZ/50A
功率 9KV
真空泵组系统
制冷机 -100℃
沉积室 规格可定制,800MM*1000MM(直径*高)
转盘最大载重量50kg
配备偶联剂气化系统
全自动数字采集控制系统
派瑞林 卧式涂覆设备
派瑞林 立式涂覆设备
派瑞林 侧开门立式涂覆设备
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